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專利資訊
具彈性薄膜之承載頭
應用材料股份有限公司
申請案號
092107941
公告號
200403788
申請日期
2003-04-07
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
陳宏馳
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/68
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