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專利資訊
半導體裝載站對準裝置
美商布魯克斯自動機械美國公司
申請案號
092108182
公告號
200308042
申請日期
2003-04-10
申請人
美商布魯克斯自動機械美國公司
發明人
哥登貝克哈德
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/68
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