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專利資訊
含縮醛及縮酮作為溶劑之光阻組合物
克來里恩國際公司
申請案號
092108231
公告號
200405127
申請日期
2003-04-10
申請人
克來里恩國際公司
發明人
史丹利F 瓦那
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/023
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