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佈植一基材之方法與執行此方法之離子佈植機

應用材料股份有限公司

申請案號
092108269
公告號
200402096
申請日期
2003-04-10
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
愛德利恩繆瑞爾
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H01L21/265
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