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可移動元件之多向性掃描及其離子束監測配置

應用材料股份有限公司

申請案號
092108270
公告號
200308043
申請日期
2003-04-10
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
薩咯德Ｈ　史密克
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H01L21/68
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可移動元件之多向性掃描及其離子束監測配置 - 專利資訊 | NowTo 智財通