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用於硬質罩幕層之抗反射含SiO組合物
美商格芯(美國)集成電路科技有限公司
申請案號
092108405
公告號
200307014
申請日期
2003-04-11
申請人
美商格芯(美國)集成電路科技有限公司
發明人
德克 菲佛
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
C08L83/04
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用於硬質罩幕層之抗反射含SiO組合物 - 專利資訊 | NowTo 智財通