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氣體導入裝置及其生產方法、暨灰化裝置及其運轉方法

應用材料股份有限公司

申請案號
092108474
公告號
200306635
申請日期
2003-04-11
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
高橋稔
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H01L21/64
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