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專利資訊
製程裝置中金屬污染與微粒子之檢測方法
旺宏電子股份有限公司
申請案號
092108507
公告號
200421514
申請日期
2003-04-14
申請人
旺宏電子股份有限公司
發明人
俞文光
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/66
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