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閘極氧化層厚度之量測方法

台灣積體電路製造股份有限公司

申請案號
092108738
公告號
200421516
申請日期
2003-04-15
申請人
台灣積體電路製造股份有限公司
發明人
陳步芳
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

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閘極氧化層厚度之量測方法 - 專利資訊 | NowTo 智財通