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專利資訊
半導體元件之製程參數特性的量測電路
南亞科技股份有限公司
申請案號
092109209
公告號
200423281
申請日期
2003-04-21
申請人
南亞科技股份有限公司
發明人
甯樹樑
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/68
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