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專利資訊
製造微系統的方法
麥可泰克微技術有限公司
申請案號
092109309
公告號
200413245
申請日期
2003-04-22
申請人
麥可泰克微技術有限公司
發明人
萊納 戈徹
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
B81C5/00
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