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專利資訊
一種量測金屬氧化半導體電晶體之閘極長度的方法
聯華電子股份有限公司
申請案號
092109797
公告號
200423274
申請日期
2003-04-25
申請人
聯華電子股份有限公司
發明人
黃正同
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/66
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