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專利資訊
投影曝光裝置
亞多特克工程股份有限公司
申請案號
092112104
公告號
200307858
申請日期
2003-05-02
申請人
亞多特克工程股份有限公司
發明人
三宮勝也
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F9/00
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