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具有鬆弛的薄膜層結構及其製造方法

台灣積體電路製造股份有限公司

申請案號
092112105
公告號
200425278
申請日期
2003-05-02
申請人
台灣積體電路製造股份有限公司
發明人
林俊杰
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H01L21/20
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具有鬆弛的薄膜層結構及其製造方法 - 專利資訊 | NowTo 智財通