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專利資訊
清洗孔洞材料之方法及其裝置
台灣積體電路製造股份有限公司
申請案號
092112177
公告號
200425314
申請日期
2003-05-02
申請人
台灣積體電路製造股份有限公司
發明人
王靜亞
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/304
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