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專利資訊
快速熱退火製程
旺宏電子股份有限公司
申請案號
092112209
公告號
200425345
申請日期
2003-05-05
申請人
旺宏電子股份有限公司
發明人
張耀元
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/324
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