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專利資訊
檢測晶圓盒之卡匣是否變形的方法
中華聯合半導體設備製造股份有限公司
申請案號
092112433
公告號
200425376
申請日期
2003-05-07
申請人
中華聯合半導體設備製造股份有限公司
發明人
蘇兆鳴
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/68
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