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單結晶矽晶圓及磊晶晶圓以及單結晶矽之製造方法

信越半導體股份有限公司

申請案號
092112682
公告號
200401053
申請日期
2003-05-09
申請人
信越半導體股份有限公司
發明人
櫻田昌弘
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

C30B15/00
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