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專利資訊
微影製程以及光阻層之重工製程
旺宏電子股份有限公司
申請案號
092113183
公告號
200424778
申請日期
2003-05-15
申請人
旺宏電子股份有限公司
發明人
顏裕林
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/16
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