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專利資訊
減少介面粗糙度之鎳矽化物
高級微裝置公司
申請案號
092113429
公告號
200403731
申請日期
2003-05-19
申請人
高級微裝置公司
發明人
艾瑞克 培頓
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/28
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