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專利資訊
基板處理總成
歐提比太陽能有限公司
申請案號
092113629
公告號
200401046
申請日期
2003-05-20
申請人
歐提比太陽能有限公司
發明人
馬里納 艾維斯
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
C23C14/56
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