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專利資訊
多重退火製程
台灣積體電路製造股份有限公司
申請案號
092113648
公告號
200426949
申請日期
2003-05-20
申請人
台灣積體電路製造股份有限公司
發明人
黃振銘
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/324
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