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專利資訊
光罩保護膜之卸除裝置
台灣積體電路製造股份有限公司
申請案號
092113649
公告號
200412470
申請日期
2003-05-20
申請人
台灣積體電路製造股份有限公司
發明人
李光洋
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F1/00
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