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專利資訊
間接加熱的陰極離子源
維瑞安半導體設備公司
申請案號
092113939
公告號
200307304
申請日期
2003-05-23
申請人
維瑞安半導體設備公司
發明人
彼得E 馬希喬基
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01J27/02
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