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專利資訊
負型光阻組成物
東京應化工業股份有限公司
申請案號
092114042
公告號
200307852
申請日期
2003-05-23
申請人
東京應化工業股份有限公司
發明人
高須亮一
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/038
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