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專利資訊
經縮醛保護之聚合物及其光阻組成物
亞契專業化學公司
申請案號
092114264
公告號
200307175
申請日期
2003-05-27
申請人
亞契專業化學公司
發明人
桑傑 瑪里克
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/004
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