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專利資訊
微電子洗淨及抗反射塗層去除劑組合物
艾萬拓有限責任公司
申請案號
092114287
公告號
200401958
申請日期
2003-05-27
申請人
艾萬拓有限責任公司
發明人
千 平 沙曼 許
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/42
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