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專利資訊
決定被施加載體上之層厚之方法及裝置及監視系統
億恆科技股份公司
申請案號
092114320
公告號
200401885
申請日期
2003-05-27
申請人
億恆科技股份公司
發明人
迪爾克 克諾伯羅希
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G01B11/00
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