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專利資訊
單一特徵部之光學量測方法
東京威力科創美國股份有限公司
申請案號
092114373
公告號
200402529
申請日期
2003-05-28
申請人
東京威力科創美國股份有限公司
發明人
喬爾格 比思契夫
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G01J3/18
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