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專利資訊
移除微碟片表面之污染源的方法
錸德科技股份有限公司
申請案號
092114670
公告號
200426792
申請日期
2003-05-30
申請人
錸德科技股份有限公司
發明人
李鏞修
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G11B23/50
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