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專利資訊
校正裝置及其校正方法
南亞科技股份有限公司
申請案號
092114687
公告號
200426964
申請日期
2003-05-30
申請人
南亞科技股份有限公司
發明人
劉立中
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/66
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