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專利資訊
放電用電源、濺鍍用電源及濺鍍裝置
芝浦機械電子裝置股份有限公司
申請案號
092114754
公告號
200404910
申請日期
2003-05-30
申請人
芝浦機械電子裝置股份有限公司
發明人
栗山昇
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
C23C14/34
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