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專利資訊
基板處理裝置及基板處理方法
荏原製作所股份有限公司
申請案號
092114997
公告號
200402785
申請日期
2003-06-03
申請人
荏原製作所股份有限公司
發明人
勝岡誠司
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/304
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