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專利資訊
金屬層的改質方法
矽統科技股份有限公司
申請案號
092115012
公告號
200428532
申請日期
2003-06-03
申請人
矽統科技股份有限公司
發明人
方瑞華
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/324
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