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物鏡,特別是微影術用之投影物鏡

卡爾蔡斯半導體製造技術公司

申請案號
092115213
公告號
200401120
申請日期
2003-06-05
申請人
卡爾蔡斯半導體製造技術公司
發明人
烏爾里奇 偉伯
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

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