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含有碘及碘之蒸氣陷獲劑（ＩＯＤＩＮＥ　ＶＡＰＯＲ-ＴＲＡＰＰＩＮＧ　ＡＧＥＮＴ）之化學機械研磨組合物

卡博特微電子公司

申請案號
092115234
公告號
200404640
申請日期
2003-06-05
申請人
卡博特微電子公司
發明人
濤孫
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

B24B1/00
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含有碘及碘之蒸氣陷獲劑（ＩＯＤＩＮＥ　ＶＡＰＯＲ-ＴＲＡＰＰＩＮＧ　ＡＧＥＮＴ）之化學機械研磨組合物 - 專利資訊 | NowTo 智財通