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專利資訊
執行免散射至鄰近區域之深植入方法
億恆科技股份公司
申請案號
092115308
公告號
200403728
申請日期
2003-06-05
申請人
億恆科技股份公司
發明人
湯瑪斯 沙夫鮑爾
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/265
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