IP

具離子分佈的磁控制之外部激發環面電漿源

應用材料股份有限公司

申請案號
092115322
公告號
200405769
申請日期
2003-06-05
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
肯尼士S 柯林斯
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

本站使用 Cookie 進行流量分析,以提供更好的使用體驗。

具離子分佈的磁控制之外部激發環面電漿源 - 專利資訊 | NowTo 智財通