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專利資訊
微影裝置,元件製造方法及由其製造之元件
ASML荷蘭公司
申請案號
092115535
公告號
200403541
申請日期
2003-06-09
申請人
ASML荷蘭公司
發明人
阿雷 傑佛烈 丹 博夫
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/20
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