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專利資訊
介電塗層電極,電漿放電處理裝置和薄膜形成方法
柯尼卡股份有限公司
申請案號
092115572
公告號
200401043
申請日期
2003-06-09
申請人
柯尼卡股份有限公司
發明人
岩丸俊一
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
C23C14/00
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