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專利資訊
半導體裝置及其測試方法
日立製作所股份有限公司
申請案號
092115581
公告號
200406859
申請日期
2003-06-09
申請人
日立製作所股份有限公司
發明人
近江谷厚生
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/66
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