IP
NowTo 智財通
EN
首頁
/
專利資訊
一種LPCVD反應器之抽氣系統
聯華電子股份有限公司
申請案號
092115610
公告號
200428489
申請日期
2003-06-09
申請人
聯華電子股份有限公司
發明人
陳立業
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/20
查看申請人公司資訊
本站使用 Cookie 進行流量分析,以提供更好的使用體驗。
拒絕
接受
×
一種LPCVD反應器之抽氣系統 - 專利資訊 | NowTo 智財通