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專利資訊
具有堅固之密封邊緣的底墊
羅門哈斯電子材料CMP控股公司
申請案號
092115741
公告號
200406287
申請日期
2003-06-10
申請人
羅門哈斯電子材料CMP控股公司
發明人
約瑟 西恩西爾羅
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
B24D3/00
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