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專利資訊
監控爐管之製程冷卻水洩漏的方法及其設備
台灣積體電路製造股份有限公司
申請案號
092115753
公告號
200428550
申請日期
2003-06-10
申請人
台灣積體電路製造股份有限公司
發明人
白峻榮
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/66
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