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專利資訊
局部為薄膜之攜載頭
蘭姆研究公司
申請案號
092115842
公告號
200401359
申請日期
2003-06-11
申請人
蘭姆研究公司
發明人
彼得 倫泰恩
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/304
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