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專利資訊
微細圖案形成材料及微細圖案形成方法
瑞薩科技股份有限公司
申請案號
092115886
公告號
200402600
申請日期
2003-06-11
申請人
瑞薩科技股份有限公司
發明人
石橋健夫
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/038
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