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專利資訊
在熱作用室中校準溫度測量設備的系統與方法及校準晶片
美商得昇科技股份有限公司
申請案號
092115898
公告號
200403781
申請日期
2003-06-11
申請人
美商得昇科技股份有限公司
發明人
保羅 J 提曼斯
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/66
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