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專利資訊
供深紫外線蝕刻用之含光活性化合物之混合物的光阻組合物
克來里恩國際公司
申請案號
092115970
公告號
200413849
申請日期
2003-06-12
申請人
克來里恩國際公司
發明人
蒙利瑞莎娜 派門那本
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/004
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供深紫外線蝕刻用之含光活性化合物之混合物的光阻組合物 - 專利資訊 | NowTo 智財通