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氮化鋁燒結體、陶瓷基板、陶瓷加熱器及靜電夾頭

ＩＢＩＤＥＮ股份有限公司

申請案號
092116241
公告號
200304909
申請日期
2001-03-08
申請人
ＩＢＩＤＥＮ股份有限公司
發明人
平松靖二
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

C04B35/581
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