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專利資訊
曝光設備及方法
佳能股份有限公司
申請案號
092116427
公告號
200401338
申請日期
2003-06-17
申請人
佳能股份有限公司
發明人
山田顯宏
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
A61N5/00
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